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Application note

在FOUP卸載模塊應用質量流量控制器進行N2 Purge

前開式晶圓傳送盒(FOUP)卸載模塊的功能是在等待下一個工藝步驟的同時暫存晶圓。由於製造環境的清潔度是影響產品成品率的主要因素之一,因此晶圓搬運和存儲設備的性能是半導體製造中的關鍵工序。優化的晶圓處理/存儲工藝應盡量減少可能導致半導體晶圓金屬氧化或喪失導電性的水分、顆粒和氧氣。
 
此應用案例是關於協助全球最大半導體公司之一。他們使用先進技術在矽晶圓片上製造芯片,應用於不同的應用和設備,如電信、遊戲、工業等。工廠遍布各地。目前先進的技術要求在生產製程中對氣體進行更好的流量控制,以提高產量並降低這些氣體的使用成本。 Bronkhorst與半導體工業卸載模塊和FOUP相關設備供應商合作,他們的設備是内建到每個半導體工藝設備中的主要部件。卸載模塊是用於將矽片裝入半導體加工工具中的,清潔度是保證矽晶圓片生產高產量的一個重要因素。我們客戶的卸載模塊在亞洲各大半導體製造廠使用。

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重要議題

  • 質量流量控制器的精度和再現性
  • 通過優化產品以滿足客戶的特定需求來降低成本
  • 通過設備設計定制主體來減少設備的體積
  • 通過控制和可追溯的製造方法來提高清潔度

製程解決方案

質量流量控制器在該製程中的主要功能是監測和控制超高純度(UHP) N2 (A)或清潔乾燥空氣吹掃(CDA)(B)。在較早的晶圓廠中清潔乾燥空氣吹掃(B)更為常用,而新工廠使用UHP N2吹掃(A)。

為了在不增加不必要成本的情況下滿足FOUP卸載模塊的特定設計要求,我們當地銷售與服務團隊協助開發符合品質與高精準要求的產品,以滿足FOUP設備商與半導體製造商的高標準。憑藉40多年在質量流量計和控制器的經驗,我們能夠用一些標準系列產品(基於CTA原理的MASS-STREAM流量控制器或是基於毛細管旁路原理的EL-FLOW)為客戶提供定制化的解決方案。產品為獨立單元配置。

Bronkhorst亞太區OEM銷售經理Sia Wilson先生這樣說:我們很高興有機會與客戶討論並密切合作開發所需的產品。在此過程中,雙方都了解了技術和要求,最終使我們能夠為該應用創造出具有成本效益的高品質和功能良好的產品。這是Bronkhorst與我們客戶之間真正的合作夥伴關係。



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