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半導體工業

在1970年的時候,熱質式流量計/控制器是為半導體加工製造過程中的氣體氣相沉積目的所設計的。半導體市場對於質量流量控制器的需求一直都在不斷增加,通過收集市場需求信息以及聆聽客戶對氣體,液體以及蒸氣輸送新產品的需求,Bronkhorst 已經成為了這一領域質量流量儀器供應商中的佼佼者,並且其產品的高質量以及先進技術也享受極高的聲譽,比如,金屬密封儀器,超快速響應質量流量控制器,創新的直接液體供應系統以及支援多種通訊協定傳輸(Analog, RS232, DeviceNet™, CANopen®, PROFIBUS®DP, Modbus-RTU, FLOW-BUS, EtherCAT®, PROFINET, Modbus/TCP, EtherNet/IP, 等.) 。

 wafer deposition
氣體 液體
壓力 蒸氣

 申請

 
在FOUP缷載模組使用質量流量控制器進行氮氣吹掃
前開式晶圓傳送盒(FOUP)缷載模組(Load Port)的功能是在等待下一個處理步驟時暫存晶圓。由於製造環境的清潔度是影響產品良率的主要因素之一,因此晶片處理和存儲設備的效能是半導體製造中至關重要的製程。最佳的晶圓處理/存儲過程應降低濕度、顆粒和氧氣,因為它們可能會導致氧化或使晶圓中的金屬電導率降低。
半導體儲存器中氮氣吹掃有關質量流量控制器的使用
通常在半導體設施內安裝有儲存器,以在等待下一個製程時存儲工件,例如晶圓,平板顯示器,LCD,光蝕刻倍縮光罩版或光罩。儲料器是自動物料處理系統的一部分。根據需要存儲的材料和製造廠的環境,定義了對儲存設備的要。

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