Bronkhorst
Chemical

半導體與LED照明產業

最初,熱式質量流量計和控制器是在 20 世紀 70 年代開發的,用於半導體製造工藝中的氣體氣相沉積。 Bronkhorst根據市場的需求推出新的、更好的氣體、液體和蒸汽輸送產品,成為半導體、平板顯示器和 LED 行業的主要供應商。 對於化學氣相沉積 (CVD)、平板顯示器 (FPD) 噴塗和原子層沉積 (ALD) 工藝,我們可以為液體直接注入系統提供金屬密封流量儀表。

下載我們的半導體產品手冊

應用案例

  • 切割(激光)之前在晶圓上沉積保護層
  • 金屬有機化學氣相沉積 (MOCVD)
  • 原子層沉積 (ALD)
  • 超臨界流體的定量給料和控制(例如超臨界二氧化碳清潔)
  • 平板顯示器 (FPD) 中的噴塗


應用案列
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在FOUP卸载模块应用质量流量控制器进行N2 Purge

我們與半導體行業供應商合作,例如 OHB 氣箱和裝載口。 在等待下一個工藝步驟時,使用質量流量控制器用氮氣吹掃臨時存儲的晶圓,以最大程度地減少水分、顆粒和氧氣。

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MOCVD 應用中的流量控制

流量控制在 MOCVD 應用中很重要。 閱讀故事,了解流量控制如何幫助我們的客戶(一家大型電視製造商)提高其 LED 產品質量。

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Supercritical fluid measurement and control

Fluids like carbon dioxide (CO2) are difficult to measure when they move towards the inter-phase stage between being a liquid and a gas. Coriolis Mass Flow Meters are recommended for this application.

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Other markets

Bronkhorst instruments are used for numerous applications in many different markets. They can be found in laboratories, universities, industry, production and pilot plants and even in areas or installations with risk of explosion. A substantial part of the produced instruments is integrated in manufacturing machines or equipment of so called OEM-customers (Original Equipment Manufacturers).


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